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顯微式激光測(cè)振儀

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顯微式激光測(cè)振儀

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項(xiàng)目介紹

顯微式激光測(cè)振儀（Micro System Analyzer）可用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測(cè)試。

這種非接觸式、可視化、高精度的測(cè)試方法，代替了傳統(tǒng)的電測(cè)法，幫助用戶清楚的觀察和測(cè)量一個(gè)結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性并準(zhǔn)確以視頻、圖片和數(shù)據(jù)的形式描述出來，

顯微式激光測(cè)振儀通過非接觸，數(shù)字顯微和目前測(cè)量動(dòng)態(tài)特性及振動(dòng)精度最高的 激光多普勒測(cè)振原理，快速，高效，精準(zhǔn)獲得壓電片的區(qū)域振 動(dòng)數(shù)據(jù)，除了傳統(tǒng)二維數(shù)據(jù)的曲線描述和分析，

還可以通過模 態(tài)動(dòng)圖方式更直觀表現(xiàn)，解決傳統(tǒng)電測(cè)方法不可視，精度低， 沒有過程數(shù)據(jù)無法進(jìn)行研究等問題。

樣品要求

1.樣品臺(tái)200mm?200mm，高度10cm以內(nèi)；

2.用于面外和面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量，振幅分辨率達(dá)亞皮米級(jí)；振幅0.5mm以內(nèi)都可測(cè)試；

3激光光斑小于4μm，橫向分辨率極高；測(cè)試距離大，可達(dá)38mm；實(shí)時(shí)振動(dòng)測(cè)量，高達(dá) 25MHz 的大帶寬。

項(xiàng)目案例

傳感器振型三維分析圖

常見問題
1、應(yīng)用領(lǐng)域包括？

典型應(yīng)用領(lǐng)域包括：慣性傳感器，如加速度計(jì)和陀螺儀；微機(jī)電傳感器和致動(dòng)器 (MEMS) ；打印機(jī)噴墨頭；壓力傳感器薄膜；耳機(jī)、微型鏡頭等。

尤其適用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測(cè)試。

顯微式激光測(cè)振儀

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