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俄歇電子能譜（AES）

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俄歇電子能譜（AES）

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項(xiàng)目介紹

俄歇電子能譜（Auger Electron Spectroscopy, AES）是用具有一定能量的電子束（或X射線）激發(fā)樣品俄歇效應(yīng)，通過(guò)檢測(cè)俄歇電子的能量和強(qiáng)度，從而獲得有關(guān)材料表面化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)信息的方法。

AES主要可以用于：固體表面元素定性分析、表面表面微區(qū)分析（線掃描、面掃描）、原子的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)分析、元素沿深度方向的分布分析、表面元素半定量分析等。

樣品要求

1. AES元素分析范圍為Li~U，只能測(cè)試無(wú)機(jī)物質(zhì)，不能測(cè)試有機(jī)物物質(zhì)，目前儀器檢出限為~3 atomic %；

2. 塊體/薄膜樣品尺寸不超過(guò)5 x 5 x 3mm；粉末樣品提供10mg；

3. 由于AES測(cè)試深度太淺，無(wú)法對(duì)樣品噴金后再測(cè)試，因此只能測(cè)試導(dǎo)電性較好的樣品，絕緣樣品無(wú)法測(cè)試；

4. 樣品制備好以后，盡可能真空密封送樣，避免樣品吸附空氣中的污染物，對(duì)表面測(cè)試造成影響；

5. 樣品在超高真空下必須穩(wěn)定，無(wú)腐蝕性，無(wú)磁性，無(wú)揮發(fā)性等。

項(xiàng)目案例

常見問(wèn)題
1、AES的優(yōu)點(diǎn)是什么？

高空間分辨率。

2、俄歇電子能譜的逸出深度為多少？

樣品表面0.4-2nm。

3、俄歇電子能譜可以獲得哪些信息？

表層成分和表面化學(xué)態(tài)。

4、XPS中的俄歇譜與單獨(dú)的AES有什么區(qū)別？

XPS使用X射線激發(fā)，采集的俄歇譜峰能量分辨率高一些，有的譜峰能用于化學(xué)態(tài)識(shí)別；AES用電子束激發(fā)，會(huì)破壞有些材料的化學(xué)鍵，主要適合元素分析。AES的優(yōu)點(diǎn)是高空間分辨率，如果不是分析微米納米級(jí)微區(qū)，就不需要使用AES。

俄歇電子能譜（AES）

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