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測(cè)試狗透射電鏡校準(zhǔn)和測(cè)試能力獲國(guó)家計(jì)量比對(duì)認(rèn)可

來源：時(shí)間：2025-11-17 14:23:33 瀏覽：1040次

測(cè)試狗透射電鏡校準(zhǔn)和測(cè)試能力獲國(guó)家計(jì)量比對(duì)認(rèn)可

為更好地發(fā)揮計(jì)量比對(duì)在保證量值準(zhǔn)確可靠、支撐計(jì)量事中事后監(jiān)管和提升計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)能力等方面的重要作用，市場(chǎng)監(jiān)管總局組織實(shí)施了防護(hù)水平X射線空氣比釋動(dòng)能量值比對(duì)等26項(xiàng)國(guó)家計(jì)量比對(duì)。

項(xiàng)目編號(hào)：2021-B-16

主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

比對(duì)項(xiàng)目：透射電鏡測(cè)量二氧化鉿（HfO2）和氮化硅（Si3N4）薄膜厚度。

主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室依據(jù) T/CSTM00162—2020《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)方法》和 GB/Z 21738—2008《一維納米材料的基本結(jié)構(gòu)高分辨透射電子顯微鏡檢測(cè)方法》標(biāo)準(zhǔn)，制定了比對(duì)方案，準(zhǔn)備了 HfO2 和 Si3N4 薄膜比對(duì)樣品及GBW13955 金晶面間距標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。參比實(shí)驗(yàn)室依據(jù) T/CSTM 00162—2020《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)方法》標(biāo)準(zhǔn)對(duì)透射電鏡進(jìn)行校準(zhǔn)，使用校準(zhǔn)后的透射電鏡，依據(jù)GB/Z21738—2008《一維納米材料的基本結(jié)構(gòu)高分辨透射電子顯微鏡檢測(cè)方法》標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)兩個(gè)樣品的薄膜厚度進(jìn)行了測(cè)量。主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行比較和評(píng)價(jià)，并根據(jù)En值判斷是否合格。項(xiàng)目簡(jiǎn)介：透射電鏡作為材料領(lǐng)域最重要的測(cè)量分析儀器之一，具有測(cè)量結(jié)果可視、分辨率高、準(zhǔn)確性好、功能多樣化等優(yōu)點(diǎn)，尺寸測(cè)量覆蓋了埃米到微米范圍，廣泛應(yīng)用于金屬合金、集成電路、納米科技、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域材料樣本的表征和分析。透射電鏡測(cè)量量值的準(zhǔn)確性影響樣品/產(chǎn)品性能的可靠性和安全性。因此，開展透射電鏡中、高放大倍率下膜厚量值的計(jì)量比對(duì)具有重要意義。本比對(duì)采用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)/標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)透射電鏡，然后使用校準(zhǔn)后的透射電鏡測(cè)量 HfO2薄膜樣品和Si3N4薄膜樣品的薄膜厚度。此次透射電鏡計(jì)量比對(duì)與主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室主導(dǎo)的APMP/TCMM —35—透射電鏡 Si{220}晶面間距測(cè)量比對(duì)同步進(jìn)行，比對(duì)方案基本相同。

比對(duì)結(jié)果符合規(guī)定要求的參比實(shí)驗(yàn)室：北京理工大學(xué)、測(cè)試狗（成都）實(shí)驗(yàn)檢測(cè)有限公司、廣州計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究院、天津大學(xué)、清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院、松山湖材料實(shí)驗(yàn)室公共技術(shù)平臺(tái)。

參比實(shí)驗(yàn)室勝科納米（蘇州）股份有限公司、內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué)和中國(guó)科學(xué)院金屬研究所的初測(cè)比對(duì)結(jié)果偏離正常范圍，目前已整改，補(bǔ)測(cè)結(jié)果符合要求。

測(cè)試狗實(shí)驗(yàn)室的透射電鏡

本次比對(duì)不僅檢驗(yàn)了國(guó)內(nèi)透射電鏡實(shí)驗(yàn)室測(cè)量能力，而且可以第一時(shí)間將國(guó)際比對(duì)量值與國(guó)內(nèi)比對(duì)量值鏈接，在新材料與納米計(jì)量領(lǐng)域做到國(guó)際國(guó)內(nèi)量值等效一致。通過本次比對(duì)，驗(yàn)證了國(guó)內(nèi)透射電鏡測(cè)量膜厚量值的一致性，反映了參比實(shí)驗(yàn)室開展透射電鏡膜厚測(cè)量的技術(shù)能力和人員水平，提升了透射電鏡校準(zhǔn)、測(cè)量能力和水平。

原文鏈接：市場(chǎng)監(jiān)管總局關(guān)于26項(xiàng)國(guó)家計(jì)量比對(duì)結(jié)果的通告

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