av影院在线观看-久久久久久国产精品视频-亚洲综合第一页-日日夜夜天天-快射视频网-国产精品国产-欧美三级午夜理伦三级中视频-国产日韩未满十八禁止观看-亚洲一区国产-亚洲成av人片-久草综合视频-天天射影院-91精品一区二区-国产又粗又硬-黄色91免费-亚洲精品无码永久在线观看-中文字幕人妻高清乱码

Document

當(dāng)前位置：文庫(kù)百科 ? 文章詳情

聚焦離子束FIB測(cè)試用途以及注意事項(xiàng)

來(lái)源：測(cè)試GO 時(shí)間：2022-08-30 14:19:38 瀏覽：6998次

聚焦離子束技術(shù)（Focused Ion beam，F(xiàn)IB）是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面，實(shí)現(xiàn)材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。FIB利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。

FIB制樣流程

（1）找到目標(biāo)位置，表面噴上Pt進(jìn)行保護(hù)；

（2）將目標(biāo)位置前后兩側(cè)挖空，剩下目標(biāo)區(qū)域；

（3）通過(guò)機(jī)械納米手將薄片取出，進(jìn)行離子束減??；

（4）減薄到理想厚度后停止；

（5）將樣品焊到銅網(wǎng)上的樣品柱上。

FIB應(yīng)用

聚焦離子束系統(tǒng)除了具有電子成像功能外，經(jīng)過(guò)加速聚焦后還可對(duì)材料和器件進(jìn)行蝕刻、沉積、離子注入等加工。

離子束成像：

聚焦離子束轟擊樣品表面，激發(fā)二次電子、中性原子、二次離子和光子等，收集這些信號(hào)，經(jīng)處理顯示樣品的表面形貌。

離子束刻蝕：

高能聚焦離子束轟擊樣品時(shí)，其動(dòng)能會(huì)傳遞給樣品中的原子分子，產(chǎn)生濺射效應(yīng)，從而達(dá)到不斷刻蝕，即切割樣品。其切割定位精度能達(dá)到5nm級(jí)別，具有超高的切割精度。

離子束沉積薄膜：

利用離子束的能量，激發(fā)化學(xué)反應(yīng)來(lái)沉積金屬材料和非金屬材料。通過(guò)氣體注入系統(tǒng)將一些金屬有機(jī)物氣體噴涂在樣品需要沉積的區(qū)域，當(dāng)離子束聚焦在該區(qū)域時(shí)，離子束能量使有機(jī)物發(fā)生分解，分解后的金屬固體成分被沉積下來(lái)，而揮發(fā)性有機(jī)物成分被真空系統(tǒng)抽走。

離子注入：

FIB另一個(gè)重要應(yīng)用就是可以無(wú)掩模注入離子。利用聚焦離子束技術(shù)的精確定位和控制能力，就可以不用掩模板，直接在半導(dǎo)體材料和器件上特定的點(diǎn)或者區(qū)域進(jìn)行離子注入，精確控制注入的深度和廣度。

透射電鏡樣品制備：

通常透射電鏡的樣品厚度需控制在0.1微米以下。傳統(tǒng)方法是通過(guò)手工研磨和離子濺射減薄來(lái)制樣，這費(fèi)時(shí)且無(wú)法精確定位。而FIB在制作透射電鏡樣品時(shí)，不但能精確定位，還能做到不污染和損傷樣品。

FIB送樣注意事項(xiàng)

（1）粉末樣品至少5微米以上尺寸，且無(wú)磁性；薄膜/塊體樣品最大不超過(guò)2cm，高度不超過(guò)3mm，可以有磁性；強(qiáng)磁樣品的盡量讓尺寸更??；

（2）樣品需導(dǎo)電，不導(dǎo)電樣品必須能噴金增加導(dǎo)電性。

（3）切割深度必須小于50微米。

上一篇：教育部強(qiáng)化國(guó)家戰(zhàn)略科技力量建設(shè)：加強(qiáng)高校有組織科研

下一篇：藥品質(zhì)量檢測(cè)的方法之一：質(zhì)譜分析法

相關(guān)文章

基礎(chǔ)理論丨一文了解XPS（概念、定性定量分析、分析方法、譜線結(jié)構(gòu)）

2020-05-03

手把手教你用ChemDraw 畫(huà)化學(xué)結(jié)構(gòu)式：基礎(chǔ)篇

2021-06-19

晶體結(jié)構(gòu)可視化軟件 VESTA使用教程（下篇）

2021-01-22

【科研干貨】電化學(xué)表征：循環(huán)伏安法詳解（上）

2019-10-25

【科研干貨】電化學(xué)表征：循環(huán)伏安法詳解（下）

2019-10-25

XRD的基本原理與應(yīng)用

2020-11-03

項(xiàng)目推薦/Project

聚焦離子束（FIB）

三維原子探針（APT）

FIB云現(xiàn)場(chǎng)/現(xiàn)場(chǎng)

舉報(bào)有獎(jiǎng)

TEL: 191-3608-6524

如：在網(wǎng)絡(luò)上惡意使用“測(cè)試狗”等相關(guān)關(guān)鍵詞誤導(dǎo)用戶點(diǎn)擊、惡意盜用測(cè)試狗商標(biāo)、冒稱官方工作人員等情形，請(qǐng)您向我們舉報(bào)，經(jīng)查實(shí)后，我們將給予您獎(jiǎng)勵(lì)。

舉報(bào)內(nèi)容：

200

上傳附件：

文件格式不正確，請(qǐng)重新上傳文件格式不正確，請(qǐng)重新上傳文件格式不正確，請(qǐng)重新上傳

文件格式：jpg、jpeg、png、gif、tif、doc、docx、ppt、pptx、xls、xlsx、pdf、zip、rar

聯(lián)系方式

姓名

電話

提交意見(jiàn)

意見(jiàn)反饋

Suggestions

您可以在此留下您寶貴的意見(jiàn)，您的意見(jiàn)或問(wèn)題反饋將會(huì)成為我們不斷改進(jìn)的動(dòng)力。

意見(jiàn)類型

測(cè)試服務(wù)

網(wǎng)站功能

財(cái)務(wù)報(bào)賬

其他類型

意見(jiàn)內(nèi)容

200

聯(lián)系方式

姓名

電話

提交意見(jiàn)

+

你好，很高興為您服務(wù)！

發(fā)送